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本文介绍了先进封装技术与先进封装光刻机，简述了先进封装投影光刻机系统的相关内容，并就先进封装投影光刻机性能进行了说明，指出根据SS B500系列步进投影光刻机设备实测数据，整机关键性能指标符合设计预期，满足ITRS对先进封装光刻工艺的技术要求，将能够为先进封装生产线使用。
先进封装投影光刻机
【摘 要】
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本文介绍了先进封装技术与先进封装光刻机，简述了先进封装投影光刻机系统的相关内容，并就先进封装投影光刻机性能进行了说明，指出根据SS B500系列步进投影光刻机设备实测数据，整
【机 构】
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上海微电子装备有限公司
【出 处】
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第七届中国国际集成电路博览会暨高峰论坛
【发表日期】
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2009年10期
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