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工业机器人RV减速器重要零件行星架与摆线轮的圆周均布轴孔的位置度是一项关键制造参数。针对行星架与摆线轮类零件的圆周均布孔组,研制两台专用量仪,并提出一种处理算法,采用比较式测量的方法,利用多支传感器对孔组进行检测,获取各孔孔心的坐标,然后通过对旋转路径进行分段迭代与排序寻优,最终得到准确的位置度误差。整个测量过程操作方便,测量节拍小于10 s,能实现对零件的快速测量。经过对型号为320E的零件进行多次测量实验,得出行星架仪器的测量重复性误差小于2.5μm,摆线轮测量重复性误差小于1μm,与三坐标测量