论文部分内容阅读
根据功率平衡原理，得到了表面波等离子体天线中等离子体柱长度、等离子体密度与馈入功率的关系，导出了表面波等离子体天线中能量衰减系数沿轴向分布。实验测得充气压强为0．5Pa，6Pa和40Pa时等离子体柱长度、馈入功率和等离子体密度，得到能量衰减系数的实验值。结果表明，等离子体柱上z点的能量衰减系数为该点到等离子体柱顶端距离的倒数，实验所测结果与理论符合得很好。该结论对研究表面波等离子体天线的激励和维持十分重要。