基于时域傅里叶变换的波长移相算法

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基于傅里叶变换的波长移相算法,是基于时域傅里叶变换和差分技术来实现干涉图处理.这种算法主要用于实现较粗糙轮廓或台阶件的光学检测.介绍了该算法的中心思想,指出了已有的Takeda算法的缺点,提出了改进算法.叙述了新算法的实现过程并进行了误差分析,最后给出了实验结果.
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