【摘 要】
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用Sol-Gel方法研制了PLT[(Pb0.83La0.17)TiO3]铁电薄膜,结合非挥发性铁电存储器对铁电电容的要求,研究了Au/PLT/Pt铁电电容和漏电流、剩余极化、疲劳、开关特性和揭电常数等
【机 构】
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江苏石油化工学院,香港理工大学电子及资讯工程系,应用物理系
【基金项目】
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香港Research Grants Council资助项目
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用Sol-Gel方法研制了PLT[(Pb0.83La0.17)TiO3]铁电薄膜,结合非挥发性铁电存储器对铁电电容的要求,研究了Au/PLT/Pt铁电电容和漏电流、剩余极化、疲劳、开关特性和揭电常数等性能.对厚度为0.4 μm的薄膜,5 V时的剩余极化强度Pr＝22 μC/cm2,矫顽场强度Ec＝60 kV/cm,相对介电常数约1 300,漏电流Id＝3.2×10-8 A/mm2,开关特性优良.疲劳测试表明,对V pp＝10 V的锯齿信号,经4.5×1011周期后,剩余极化强度衰减20
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