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本文提出了两种新结构MCT器件，通过器件模拟器PISCES－ⅡB对其关断机理进行了二维数值求解．采用自对准三重扩散工艺，成功地实现了两种新结构MCT器件，其电流关断能力分别达到114A／cm2和41A／cm2．
新结构MOS／晶闸管的器件机理与研制
【摘 要】
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本文提出了两种新结构MCT器件，通过器件模拟器PISCES－ⅡB对其关断机理进行了二维数值求解．采用自对准三重扩散工艺，成功地实现了两种新结构MCT器件，其电流关断能力分别达到114A／cm2
【机 构】
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电子科技大学微电子所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1997年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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