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氧化锌作为一种良好的发光材料广泛应用于太阳能电池、气敏传感器、紫外探测器、光电器件、透明电极等诸多领域。文章应用磁控溅射技术制备铒镱掺杂的氧化锌薄膜，利用X射线（XRD）和棱镜耦合技术，分析研究了氧氩比对铒镱掺杂的氧化锌薄膜的结构和光波导特性的影响。结果表明：氧氩比对薄膜的结构和光波导特性有重要影响，当氧氩比为2：16时，薄膜的衍射峰的强度较大，半高宽（FWHM）较窄，有效折射率接近ZnO薄膜的折射率，降低氧氩比有利于增强薄膜的c轴择优取向。