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为提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能，提出一种混合智能的Interbay系统调度方法。采用Takagi—Sugeno模糊逻辑方法对晶圆卡运输成本模型的参数权重进行自适应调节，用匈牙利方法对Interbay系统的运输小车和晶圆工件进行优化指派。实验结果表明，该方法在Interbay系统和晶圆加工系统的多目标综合性能方面优于传统方法。