【摘 要】
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本文对ｐＨ－ＩＳＦＥＴ恒流输出时漂特性进行了一系列实验研究，获得时漂随器件浸泡时间的变化规律，指出造成时漂的原因之一，是敏感膜水化层带有负电荷，使器件出现附加阈值电压上ΔＶＴ（ｔ），而水化层厚度随
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本文对ｐＨ－ＩＳＦＥＴ恒流输出时漂特性进行了一系列实验研究，获得时漂随器件浸泡时间的变化规律，指出造成时漂的原因之一，是敏感膜水化层带有负电荷，使器件出现附加阈值电压上ΔＶＴ（ｔ），而水化层厚度随浸泡时间而增加，造成ΔＶＴ（ｔ）的正向时漂．提出了器件阈值电压时漂的初步物理解释．
In this paper, a series of experimental studies on the drift characteristics of the pH-ISFET constant current output are carried out. The variation of the drift time with the device immersion time is obtained. One of the reasons for the drift is pointed out that the sensitive layer hydration layer has a negative charge The device exhibits an additional threshold voltage above ΔVT (t), while the hydration layer thickness increases with immersion time resulting in a positive time drift of ΔVT (t). A preliminary physical explanation of the drift of device threshold voltage is proposed.
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