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主要介绍了３００Ｎｍ＾３／ｈ高纯氮气终端净化器的设计，调试及其优点。
全自动300Nm^3／h高纯氮气终端净化器的研制
【摘 要】
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主要介绍了３００Ｎｍ＾３／ｈ高纯氮气终端净化器的设计，调试及其优点。
【机 构】
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中国科学院大连化学物理研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1997年4期
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