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精密滚珠丝杠副是数控机床、精密仪器仪表等设备的关键零部件，其精度的高低对数控机床等设备的精度有很大影响。针对影响丝杠加工精度的温度误差，从室温、磨削热、冷却液温升等几方面进行了分析。对由室温、冷却液温升等因素引起的误差，提出了解决方案。对由磨削热引起的误差，在分析了有限差分法的基础上，利用有限元对误差进行了分析与计算。