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采用电泳沉积技术在Pt电极基片上制备BaTiO3铁电陶瓷薄膜，探讨了电泳沉积过程中的控制因素（悬浮液体系，电场强度，料浆浓度，沉积时间等）对成膜性能的影响，并对薄膜材料的结构，性能进行了表征，实验结果表明；在1050℃（2h)的烧成温度下，经重复沉积一烧结2-3次可得到基本无缺陷的BaTiO3陶瓷薄膜，测量频率在1kHz，测量频率在1kHz时，室温（23℃）下的介电常数ε=2300，介电损耗tanδ=0.2。