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期刊论文
超声技术在半导体行业中应用探讨
超声技术在半导体行业中应用探讨
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suzengbiao
【摘 要】
:
晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着
【作 者】
:
宋伟峰
成龙
刘永进
关宏武
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2012年10期
【关键词】
:
超声波
兆声波
清洗
Ultrasonic
Mega-sonic
Clean
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晶片的洁净程度直接决定了晶片的价值,而晶片最前端工艺就是清洗。现代化超声技术的应用可让晶片更洁净。超声波清洗的功率、频率、尺寸、安装方式的选择都与晶片清洁程度有着密切关系。主要对超声波的原理和频率的选定进行了介绍。
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