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离子注入非晶碳薄膜的SEM研究
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点开放实验室,中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点开
【出 处】
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电子显微学报
【发表日期】
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2000年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目! (5 970 2 0 0 1)
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