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通过晶体价键理论与电子密度理论的结合,推算出CoSi2的表面电子密度,从理论上分析了p型Si衬底的掺杂浓度对CoSi2薄膜内应力的影响,并从实验上给予了验证.
CoSi2薄膜内应力的微观机制研究
【摘 要】
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通过晶体价键理论与电子密度理论的结合,推算出CoSi2的表面电子密度,从理论上分析了p型Si衬底的掺杂浓度对CoSi2薄膜内应力的影响,并从实验上给予了验证.
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系
【出 处】
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自然科学进展
【发表日期】
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2001年2期
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