CoSi2薄膜相关论文
本文采用合金靶材进行磁控溅射制备CoSi2薄膜,对CoSi2薄膜的成分组织结构性能跟溅射参数的关系进行了分析,研究了非晶CoSi2薄膜晶化......
新型纳米材料的研究与开发是当今材料研究领域的热点,一方面人们不断的发现新型纳米材料,观察其表现出的奇异性质,试图揭示其背后的物......
采用射频磁控溅射法溅射CoSi2合金靶材制备CoSi2薄膜,研究了制备参数对薄膜织构的影响.结果表明,CoSi2薄膜中存在(111)或(220)织构......
根据改进的Thomas-Fermi-Dirac模型,分析了CoSi2薄膜中本征应力的起源,证明了基体与薄膜的原子表面电子密度差是薄膜本征应力的来源......
本文研究了利用离子束溅射、快速退火等技术,通过 Co/Si 固相反应,形成高电导均匀CoSi_2薄膜.对Co/Si 固相反应过程,氧在其中的行......