【摘 要】
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本文通过对多腔室高真空溅射台进行改造,实现了对硅片级薄膜吸气剂的吸气能力进行定量评估。通过用毛细管将压力调整腔与测试腔体相连以进行压力差测试,适用于评估吸气能力较
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本文通过对多腔室高真空溅射台进行改造,实现了对硅片级薄膜吸气剂的吸气能力进行定量评估。通过用毛细管将压力调整腔与测试腔体相连以进行压力差测试,适用于评估吸气能力较强的硅片级薄膜;该装置也可以用测试漏率法来评估吸气能力较弱的硅片级薄膜。本文为硅片级吸气剂吸气性能的测试和评价提供了一个工业级平台,为硅片制造厂吸气剂的工艺开发、性能研究提供了有效的方法。
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