TiN附着膜的应力-应变关系

来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：avim03

【摘要】

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利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜．借助X射线应力分析技术和微拉伸设备，测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变，进而求

【作者】

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覃明嵇宁汪伟陈昌荣李家宝马胜利

【机构】

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中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家（联合）实验室,LM3ESACNRS8006,西安交通大学金属材料强度国家重点实验室

【出处】

：

金属学报

【发表日期】

：

2003年7期

【关键词】

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TiN膜双轴应力应力-应变关系 X射线拉伸实验纳米压痕法 TiN film biaxial stress stress-strain relation

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利用等离子体辅助化学气相沉积法(PACVD)在60Mn钢基片上沉积2.5μm厚的TiN膜．借助X射线应力分析技术和微拉伸设备，测量该附着膜纵向(加载方向)应力和横向应力及外载应变，进而求其等效应力-等效单轴应变关系，并由此算得它的条件屈服点σ(0.1)和σ(0.2)分别为4.2和4.4 GPa，加工硬化指数为0.36．用纳米压痕仪测得其硬度为25 GPa，弹性模量为420 GPa．TiN膜在拉伸过程中发生了塑性变形．

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