【摘 要】
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利用脉冲激光沉积技术在蓝宝石衬底上生长不同厚度的VO2薄膜,对薄膜的结构、表面形貌和光电性能进行研究。结果表明：所沉积的VO2薄膜为具有单晶性能、表面平整的单斜晶相的VO2
【基金项目】
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国家自然科学基金(11405045,51301062);河南理工大学创新团队项目(T2017-2);河南理工大学博士基金(B2013-046)~~
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利用脉冲激光沉积技术在蓝宝石衬底上生长不同厚度的VO2薄膜,对薄膜的结构、表面形貌和光电性能进行研究。结果表明：所沉积的VO2薄膜为具有单晶性能、表面平整的单斜晶相的VO2薄膜,相变前后,方块电阻的变化可达到3～4个数量级,在波长为2500nm的透过率变化最高可达56%,优化的可视透过率（T（lum））和太阳能调节率（T（sol））为43.2%和8.7%。薄膜受到的应力对VO2薄膜有重要影响,可以通过调节薄膜的厚度对VO2薄膜光电性能实现调控。当VO2薄膜厚度较小时,薄膜受到拉应力,拉应力能使相变温度显著
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