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本文研究了ＡｇＯｘ薄膜的光学性能，分解过程和记录特性。研究表明，在氩气分压力０．６７Ｐａ和氧气分压为２．０Ｐａ的条件下，反应溅射制备的ＡｇＯｘ薄膜是非晶态的，在４００℃热处理时，完全分解为Ａｇ；本文成功地对ＡｇＯｘ薄膜进行了静态写入实验，ＡｇＯｘ有望成为一种新的ＣＤ－Ｒ存储介质。
可录CD无机存储介质—AgOx的研究
【摘 要】
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本文研究了ＡｇＯｘ薄膜的光学性能，分解过程和记录特性。研究表明，在氩气分压力０．６７Ｐａ和氧气分压为２．０Ｐａ的条件下，反应溅射制备的ＡｇＯｘ薄膜是非晶态的，在４００℃热处理时，完全分解为Ａｇ；本文成功地对ＡｇＯｘ薄膜进行了静态
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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1998年3期
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