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利用多重散射团簇方法(MSC)首次对Cl/Ge(111)自组装系统的Cl原子K边X射线吸收精细结构(NEXFAS)进行了详细的计算和分析.研究揭示了实验NEXFAS谱峰的物理起源.其中最显著一个峰来源于Cl和正位于其下的Ge之间的散射.同时还得到了吸附系统的局域结构;Cl吸附在Ge(111)面的顶位,吸附高度是0.215±0.005 nm,Cl在Ge(111)表面自组装形成了一个单分子层.这些结果和广延X射线吸收精细结构(EXFAS)结论以及从头计算的结果相互吻合.