【摘 要】
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为掌握高功率脉冲激光防护中脉冲激光各参量对VO2薄膜温升的具体影响，采用有限元分析程序ANSYS的热分析模块分析了VO2薄膜在脉冲激光辐照下的温度场变化，分析讨论了CO2脉冲激光
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为掌握高功率脉冲激光防护中脉冲激光各参量对VO2薄膜温升的具体影响，采用有限元分析程序ANSYS的热分析模块分析了VO2薄膜在脉冲激光辐照下的温度场变化，分析讨论了CO2脉冲激光的光癍尺寸、功率密度、脉冲宽度、重复频率四个参量，对VO2薄膜达到相变温度的时间与相变区域尺寸的影响．结果表明，光斑尺寸等四个参量共同影响薄膜达到相变温度的时间，在一定范围内增大光斑尺寸和功率密度可缩短薄膜相变的时间，而薄膜相变区域尺寸所占光斑面积的比例与二者并无直接关系，增大脉宽或重频都有利于缩短薄膜达到相变的时间，但前者对单脉
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