介质膜电荷陷阱特性的雪崩注入法的技术改进—垫高电压

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sephinroth
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本文介绍在我们用于研究MOS、MIS结构介质膜电荷陷阱特性的雪崩注入法中的技术小改进——垫高电压。这一在原测试电路上十分简单的改进,可使我们原有测试系统探测到俘获截面小到10<sup>-1</sup><sub>8</sub>cm<sup>2</sup>的电子陷阱,且为介质膜的雪崩空穴注入提供了准确、便利和有效的技术手段。
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