【摘 要】
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在超高真空中应用的片子传输机械手ＭａｓａｆｕｍｉＫａｎｅｔｏｍｅ等著一目译一种新的极坐标式机械手，是为了在超高真空环境中进行薄膜生长而开发的。它采用可在真空中工作的无摩擦力的簧片结构，由置于真空环
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在超高真空中应用的片子传输机械手ＭａｓａｆｕｍｉＫａｎｅｔｏｍｅ等著一目译一种新的极坐标式机械手，是为了在超高真空环境中进行薄膜生长而开发的。它采用可在真空中工作的无摩擦力的簧片结构，由置于真空环境之外的电机进行电磁驱动。真空环境下的所有运动部件仅有...
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