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利用电子束蒸发结合热处理方法在150℃下，石英衬底上生长了纤锌矿结构的MgxZn1-xO薄膜。用X射线衍射（XRD），扫描电镜（SEM），吸收光谱和室温光致发光（PL）光谱研究了退火条件和降温方式对MgxZn1-xO薄膜的微结构和光学性质的影响。在吸收光谱中，吸收边和吸收峰的蓝移说明：通过改变退火条件和降温方式，可以将MgxZn1-xO薄膜的带隙从3．37eV提高到3．61eV。从SEM的结果得出：吸收边和吸收峰的蓝移不是由量子限制效应引起的，而是形成了MgxZn1-xO合金薄膜。在XRD谱图中，没观察到