智能化压力传感器的研制

来源 :河北工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:QINSHAOKUN1988
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介绍了智能化硅压阻传感器的微机检测、运算处理和控制部分.由平面工艺制成的硅压阻传感器,当其把压力信号转换为电信号后,经摸拟通道的预处理,再由微机对检测的信号进行零点及灵敏度的温度补偿以及对压力非线性特性进行校正,最后对测量结果进行标度变换并显示.使传感器测量精度大大提高并且有程控、运算处理等功能.从而,可长期稳定地工作在环境温度变化较为频繁的场合. Introduced the intelligent silicon piezoresistive sensor computer detection, computing and control part. The silicon piezoresistive sensor made of planar technology, when it converts the pressure signal into electrical signal, after analogue channel preprocessing, then the microcomputer detects the signal zero and sensitivity temperature compensation and the nonlinear characteristics of the pressure Calibration, the final measurement of the scale conversion and display. So that the sensor measurement accuracy greatly improved and program control, computing and other functions. Thus, long-term and stable operation in the environment temperature changes more frequently occasion.
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