斜入射条件下微测辐射热计的光学特性研究

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针对典型的微测辐射热计单元结构的设计,依据光学导纳矩阵方法,用Matlab软件分析了多层薄膜的光学特性,获得了理论上红外吸收率最大时吸收层的厚度0.1μm和空腔的高度2μm,通过理论计算得到了斜入射条件下红外吸收率随入射角的变化规律,与常规的计算方法——垂直入射条件下得到的红外吸收率相比,它更接近于实际情况,仿真计算结果更加准确。结果表明:器件在8~14μm波段有80%以上的红外吸收率,并且当微桥形变很小时,器件依然有很高的红外吸收率。
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