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高压半导体功率器件主要需求的材料为厚外延高阻的外延片，而LPE的优势在于生产厚外延产品，但厚外延高阻材料对于片内阻值均匀性的要求，与外延时的自掺杂息息相关。此文主要研究LPE上厚外延的自掺杂改善。
LPE生产高阻厚外延产品的自掺杂改善
【摘 要】
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高压半导体功率器件主要需求的材料为厚外延高阻的外延片，而LPE的优势在于生产厚外延产品，但厚外延高阻材料对于片内阻值均匀性的要求，与外延时的自掺杂息息相关。此文主要研究L
【机 构】
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上海合晶硅材料有限公司
【出 处】
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世界有色金属
【发表日期】
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2014年7期
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