【摘 要】
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高压半导体功率器件主要需求的材料为厚外延高阻的外延片,而LPE的优势在于生产厚外延产品,但厚外延高阻材料对于片内阻值均匀性的要求,与外延时的自掺杂息息相关。此文主要研究L
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高压半导体功率器件主要需求的材料为厚外延高阻的外延片,而LPE的优势在于生产厚外延产品,但厚外延高阻材料对于片内阻值均匀性的要求,与外延时的自掺杂息息相关。此文主要研究LPE上厚外延的自掺杂改善。
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