论文部分内容阅读
本文评述了硅集成电路材料及薄层工艺过程中，电阻率和薄层电阻的监测系统，指出四控针和扩展电阻等值作图法应用中需要重点考虑的一些问题。
四探针与扩展电阻等值作图法在硅器件工艺监测中的应用
【摘 要】
：
本文评述了硅集成电路材料及薄层工艺过程中，电阻率和薄层电阻的监测系统，指出四控针和扩展电阻等值作图法应用中需要重点考虑的一些问题。
【机 构】
：
中国计量科学研究院
【出 处】
：
计量技术
【发表日期】
：
1996年2期
其他文献
随着科技的飞速进步,网络领域和电磁领域已成为现代战争的重要要素。网络战、电子战已经和心理战并列被视为信息战的重要组成部分。网络战和电子战能力的发展可在战场上带来压倒性的军事优势。2019年7月,印度知名智库“观察家研究基金会”发布了题为《电子战与网络战——对比分析中国人民解放军与印度陆军》的专题选刊。翻译报告中的翻译源文本是这份专题选刊。观察家研究基金会是半官方智库,与印度政府有密切的联系。该专题
学位
研究背景公立医院运营效率体现着医院的精细化、科学化、专业化管理水平,随着医改的不断深入,提高公立医院服务质量和运营效率成为建立现代医院管理制度、深化公立医院改革的
采用绿色加工工艺制备的高蛋白质含量(高于90%)的亚麻籽蛋白及其它小品种植物蛋白越来越受市场期待。水媒法因其在加工过程中不使用有机溶剂而作为一种具有绿色概念的植物蛋白提取工艺。目前,蛋白质与脂质在水相中难以分离,以及亚麻籽蛋白加工特性较差是亟待解决的问题。论文在研究了水相体系中亚麻籽蛋白质与脂质的存在状态及相互分离机理的基础上,对水媒法制备高蛋白质含量亚麻籽蛋白的工艺进行了研究,进一步通过酶改性改
容栅传感器鉴相型测量电路已制成专用芯片，成功地应用于数显卡尺中。笔者在实测其激励信号和输出电压基础上，对测量电路进行全面分析，并与鉴幅型测量电路作比较。
本文概述了四个十字形钢筋混凝土框架节点试件采用柱加大截面法加固后，在低周反复荷载作用下的试验。通过试验，分析了加固节点的受力机理及抗震性能，并提出了一些加固建议。
目前,在全国各地,各条战线上,我党有三百万基层组织,城市社区党组织作为其中的一部分,已成为党的战斗力的基础,担负着直接联系、认识、团结社区成员,把党的路线、方针、政策
期刊
从中学数学教材中看,二次函数占有重要的地位,学生应该具备灵活运用二次函数的能力。这就需要学生进一步理解函数的概念和性质,从而提高学生的解题能力。
热桥效应的存在严重影响了真空绝热板的整体绝热性能。本文通过建立传热模型,利用能量平衡方程对VIP热桥效应进行了分析和计算,结果表明影响VIP热桥效应的主要参数包括阻隔层
目的:探讨扎里奴思方对痰瘀互结型脑缺血再灌注大鼠血液流变学、血脂代谢的改善作用及对脑组织中超氧化物歧化酶（SOD）、谷胱甘肽过氧化物酶（GSH-PX）活力及丙二醛（MDA）含量的影响。