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为了进一步简化微型直接甲醇燃料电池（μDMFC）系统，便于电池批量生产，采用MEMS技术制作μDMFC。电池的制作包括传统的MEMS工艺，如，氧化、光刻、湿法刻蚀、硅-玻璃键合等方法，还包括一种新的催化电极制备方法，即采用硅片阳极氧化的方法。首先，制得多孔硅（PS）作为催化电极的基底，然后，采用化学镀法分别在PS上沉积出Pt阴极催化电极和Pt-Ru阳极催化电极。PS具有巨大的比表面积，使化学镀的催化剂层拥有不连续的三维结构，能显著增加催化剂的活性面积，同时，化学镀液中贵金属的利用率高达95％，可以有效地节