论文部分内容阅读
介绍了一种适用于微流体系统的无阀做泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，利用硅各向异性腐蚀形成扩散口／喷口结构，并利用压电双晶片作为驱动部件。该微泵的制作工艺简单，使用寿命长，具有良好的液体驱动性能。对于使用15mm长的压电双晶片作为驱动器的压电无阀微泵，在100V、60Hz、占空比为1的方波驱动下，最大流速可达151μL／min。