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介绍亚分辨图形掩模的原理、应用及具有亚分辨图形的相移掩模和传统掩模的制作方法和工艺.
亚分辨图形相移掩模的制作方法
【摘 要】
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介绍亚分辨图形掩模的原理、应用及具有亚分辨图形的相移掩模和传统掩模的制作方法和工艺.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院微电子中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年2期
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