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亚分辨图形相移掩模的制作方法
亚分辨图形相移掩模的制作方法
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yueming1030
【摘 要】
:
介绍亚分辨图形掩模的原理、应用及具有亚分辨图形的相移掩模和传统掩模的制作方法和工艺.
【作 者】
:
冯伯儒
张锦
陈宝钦
侯德胜
苏平
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所,中国科学院微电子中心
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2001年2期
【关键词】
:
亚分辨
相移掩膜
图形处理
Sub-resolution
Phase-shifting masks (PSM)
rim PSM
auxilliary PSM
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介绍亚分辨图形掩模的原理、应用及具有亚分辨图形的相移掩模和传统掩模的制作方法和工艺.
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