【摘 要】
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为实现国家仪器专项中相移干涉仪的工程化及产业化，结合可重构制造系统设计的思想，研究了不同口径及不同测量需求的系列干涉主机的光学系统共性问题，提出了相移干涉仪内部光路模
【机 构】
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南京理工大学先进发射协同创新中心,西安工业大学陕西省光电测试与仪器技术重点实验室
【基金项目】
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陕西省重点实验室项目(15JS037),陕西省重点基金项目(2016JZ025)
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为实现国家仪器专项中相移干涉仪的工程化及产业化，结合可重构制造系统设计的思想，研究了不同口径及不同测量需求的系列干涉主机的光学系统共性问题，提出了相移干涉仪内部光路模块化设计的理念.以平面度计量用干涉仪为例阐述了模块化后的设计与制造的快速响应过程.结果表明：以立方棱镜为耦合中心的各个模块，均具有规范的接口以保证模块间的良好衔接；有多种可更换光学模组以保证新型干涉仪的客户订制快速响应.
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