The Effect of Deposition Temperature of Pb(Zr,Ti)O&lt;sub&gt;3&lt;/sub&gt;(PZT)Thin

The Effect of Deposition Temperature of Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>(PZT)Thin

来源 :凝固态物理国际期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：jinjiajie

【摘要】

：

We investigated the effect of the deposition temperature of PZT thin films with thicknesses of around 100 nm on the piezoelectric response using an atomic force

【作者】

：

Wook Song Han

【机构】

：

CenterforMassandRelatedQuantities

【出处】

：

凝固态物理国际期刊(英文)

【发表日期】

：

2012年2期

【关键词】

：

PZT AFM DEPOSITION Temperature ORIENTATION PIEZOELECTRIC Response PZTAFMDepositi

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We investigated the effect of the deposition temperature of PZT thin films with thicknesses of around 100 nm on the piezoelectric response using an atomic force microscope (AFM). The preferred orientation of the PZT thin film was changed from (001) to (11

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