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介绍了DLC薄膜优良的特性及应用，阐述了脉冲激光沉积（PLD）方法的工作原理及其优缺点，设计了制备DLC的PLD装置．分析了国内外用PLD制备DLC超硬薄膜的现状和发展方向。
PLD制备DLC的研究进展
【摘 要】
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介绍了DLC薄膜优良的特性及应用，阐述了脉冲激光沉积（PLD）方法的工作原理及其优缺点，设计了制备DLC的PLD装置．分析了国内外用PLD制备DLC超硬薄膜的现状和发展方向。
【机 构】
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西华师范大学
【出 处】
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重庆科技学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2009年3期
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