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对2005年公布的《国际半导体就十时微蓝图》中光刻部分进行了介绍与分析，并与之前的版本进行比较，列出了光刻技术面临的挑战和潜在技术方案，最后指出，浸入式光刻、纳米压印、极紫外光刻和ML2将是未来几年重点研究对象。
《国际半导体技术蓝图》(2005版)光刻部分解析
【摘 要】
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对2005年公布的《国际半导体就十时微蓝图》中光刻部分进行了介绍与分析，并与之前的版本进行比较，列出了光刻技术面临的挑战和潜在技术方案，最后指出，浸入式光刻、纳米压印、极紫
【机 构】
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上海图书馆上海科学技术情报研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年6期
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