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以气相色谱/质谱(GC/MS)的选择离子监测（SIM）测定方式对裂解气中的一氧化氮、砷化氢、羰基硫、硫醚、硫醇等杂质进行了测定。针对一氧化碳、二氧化碳、乙烷、乙烯及氮气对一氧化氮测定的干扰，分别采取色谱分离和扣除响应的方法对其予以排除。考察了裂解工艺气物流对所选择离子的测定的干扰情况。对实际工艺气中的上述杂质进行了测定，结果一氧化氮的检出限为100 nL/L。