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日本爱发科（ULVAC）和美国JDS Uniphase公司（JDSU）开发出了能够高效生产缺陷仅为原来1／10的光学薄膜的溅镀设备“ULDiS-200UCP”。该设备采用JDSU的专利技术“Meta-mode”，由爱发科开发。爱发科将以欧美以外的亚洲为中心进行销售。
日本ULVAC和美国JDSU开发成功低缺陷光学薄膜溅镀设备
【摘 要】
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日本爱发科（ULVAC）和美国JDS Uniphase公司（JDSU）开发出了能够高效生产缺陷仅为原来1／10的光学薄膜的溅镀设备“ULDiS-200UCP”。该设备采用JDSU的专利技术“Meta-mode”，由爱发科
【出 处】
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表面工程资讯
【发表日期】
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2006年6期
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