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用一种新颖的制备纳米粒子与薄膜的垂直靶向脉冲激光沉积（VTPLD）方法，在室温及空气气氛下，于玻璃基底上成功地制备出ZnO纳米薄膜。用扫描电子显微镜（SEM）和X射线衍射（XRD）仪对ZnO纳米薄膜的表面形貌和结构进行了表征，用荧光光谱仪对薄膜的光致发光（PL）性能进行了测量。结果表明，当激光功率为13W时，沉积出的粒子大小较均匀，尺寸在40nm左右，且粒子排列呈现出一定方向性；当激光功率为21W时，沉积的ZnO纳米薄膜图呈现出微纳米孔的连续薄膜。在玻璃基底上沉积的ZnO纳米薄膜有一主峰对应的（002）衍