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研究了低应力柠檬酸胺-1-羟基乙烷二膦酸（HEDP）镀液体系中电流密度、pH值、脉冲参数和热处理条件等对Ni-W合金薄膜硬度的影响。结果表明，电镀工艺条件对硬度提高有限，热处理对Ni-W合金薄膜的硬度有明显提高。同时研究对比了沉积态及550℃热处理后Ni和Ni-W硬度、干摩擦条件下耐磨性以及微观结构的变化。实验发现：多晶的Ni薄膜经过热处理后，晶粒尺寸显著长大，硬度、耐磨性约下降2/3；而Ni-W合金薄膜经过热处理后，微观结构由非晶转变成纳米晶，薄膜仍保持良好的耐磨性，硬度提高了1倍。Ni-W合金薄膜优异