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本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系是互补的关系。
SEM与TEM半导体分析的比较
【摘 要】
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本文简要介绍扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)的特点。分别介绍它们在半导体分析中的一些特点与局限。SEM分析与TEM分析在半导体显微分析中分别承担着各自任务,它们之间的关系
【机 构】
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复旦大学材料系; 复旦大学材料系 200433; 200433;
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2004年期
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