【摘 要】
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采用计算机模拟的方法,计算了SiO2/Al,ITO/Al,SiO2/Au和ITO/Au全方位反射镜结构和分布式布拉格反射镜的反射特性，用PECVD和溅射设备制作了Glass/SiO2/Au结构,用LP-MOCVD生长了
【基金项目】
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北京市科委重点项目（批准号：D404003040221）,国家重点基础研究发展规划（批准号：2006CB604902）,国家高技术研究发展计划（批准号：2006AA03A121）,国家自然科学基金（批准号：60407009）,北京市自然科学基金（批准号：4032007）和北京工业大学第五届研究生科技基金资助项目
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采用计算机模拟的方法,计算了SiO2/Al,ITO/Al,SiO2/Au和ITO/Au全方位反射镜结构和分布式布拉格反射镜的反射特性，用PECVD和溅射设备制作了Glass/SiO2/Au结构,用LP-MOCVD生长了DBR结构,并测量了其反射特性,实验与模拟结果基本吻合，从模拟和实验的结果得到,SiO2/AuODR结构在波长为630nm的垂直入射光下反射率很高,达到91%以上。对于不同角度的入射光,SiO2/Au在20°-85°都有很高的反射率,远高于DBR结构的反射率，在实际器件测
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