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为抑制合肥同步辐射装置U26光束线掠入射单色仪真空紫外波段的高次谐波，在45-115nm波段研究了Si和Al的反射率特性，结果表明：确定的入射角下，Si和Al的反射率随波长的变化有明显的截止，截止波长随入射角减小不断变大。以Si为反射镜材料，设计了两镜高次谐波抑制系统，核心由四组两两平行的平面反射镜组成，确定了每组反射镜的最佳入射角，并给出了该装置详细的结构设计参数。对该系统的高次谐波抑制效率进行计算表明，45—115nm波段的高次谐波抑制比均大于100。