论文部分内容阅读
采用射频磁控溅射的方法，在玻璃基片上制备了不同膜层结构的[Fe／Pt]n多层膜，经不同温度真空热处理后，得到L10有序结构的FePt薄膜。实验结果表明，[Fe／Pt]n多层膜结构可以有效降低FePt薄膜的有序化温度，350℃退火30min后其平行膜面矫顽力可达1．6×10^5A／m；多层膜结构中，Pt层厚度与Fe层厚度相同时，矫顽力最大，当Fe、Pt层厚度比偏离1：1时，在Fe／Pt接触处易产生Fe3Pt和FePt3软磁相；Pt层和Fe层厚度相等且总厚度相同的情况下，Fe、Pt单层厚度越薄，有序