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石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现。腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也大大影响元器件的性能,降低结构强度。本文对腐蚀隧道进行了比较系统的分析,提出了减少、抑制晶体中腐蚀隧道缺陷的技术手段。
石英晶体中的腐蚀隧道缺陷
【摘 要】
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石英晶体中的腐蚀隧道缺陷是晶体结构中位错的宏观表现。腐蚀隧道缺陷不仅影响石英加工过程,由于石英晶体元器件常处于冲击、振动、温度变化、辐射等的环境中,腐蚀隧道缺陷也
【机 构】
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清华大学材料科学与工程系中材高新材料股份有限公司烁光特晶科技有限公司
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2009年1期
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