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在研究一般ＭＩＭ（Ａｌ－Ａｌ２Ｏ３－Ａｕ）结的基础上，为了克服Ａｌ的不稳定性和改善结的性能，我们采用半导体材料Ｓｉ代替Ａｌ，研究成功ＭＩＳ隧道结，观察到了稳定的发光现象。介绍了ＭＩＳ结的基本结构帮工艺流程，分析了结中ＳＰＰ的各个模式，讨论了结的发光光谱，阐明了ＭＩＳ结的发光机理。
MIS（Au—SiO2—Si）隧道发光结
【摘 要】
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在研究一般ＭＩＭ（Ａｌ－Ａｌ２Ｏ３－Ａｕ）结的基础上，为了克服Ａｌ的不稳定性和改善结的性能，我们采用半导体材料Ｓｉ代替Ａｌ，研究成功ＭＩＳ隧道结，观察到了稳定的发光现象。介绍了ＭＩＳ结的基本结构帮工艺流程，分析了结中ＳＰＰ的各个模式
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年11期
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