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文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件. 设计了5 μm×5 μm的单模光波导, 并用APSS软件进行了光场模式分析; 利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽; 最后, 利用紫外光敏胶将波导和光纤固定.
基于SOI的光波导和V形槽集成器件
【摘 要】
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文章介绍了一种基于SOI的集成半导体器件. 设计了5 μm×5 μm的单模光波导, 并用APSS软件进行了光场模式分析; 利用KOH各向异性腐蚀制造了直的脊波导、Y分支器和V形槽;
【机 构】
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加拿大McMaster大学工程物理系
【出 处】
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光通信研究
【发表日期】
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2003年4期
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