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用二维光学多道分析仪研究了低气压表面波型微波感耦氬等离子体的光谱辐射特性?鼳bel反演后,得到了在各种气压和微波功率下等离子体辐射光强和激发温度的空间分布及其变化规律。讨论了此等离子体的激发机理。
低气压微波感耦氩等离子体空间分布特性光谱诊断
【摘 要】
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用二维光学多道分析仪研究了低气压表面波型微波感耦氬等离子体的光谱辐射特性?鼳bel反演后,得到了在各种气压和微波功率下等离子体辐射光强和激发温度的空间分布及其变化
【机 构】
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云南大学物理系,云南大学物理系650091昆明,650091昆明,650091昆明
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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1992年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金~~
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