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在中国国内,半导体设备业和半导体材料业通称为半导体支撑业。根据中国电子专用设备工业协会的估测,2016年国产半导体设备的销售规模为57.0亿元,同比增长20%。近年来,在国内集成电路产业持续快速发展的带动下,国内半导体设备业呈现出高增长的势头。在国家重大科技02专项和各级地方政府科技创新专项的大力支持下,多种先进制造设备开始替代进口设备,在国内集成电路大生产线上运行和使用。