获得高质量Moire条纹信号的一种新方法

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在细栅距的幅光栅系统中,衍射效应是很明显的,其能量约占总能量的10~40%左右,这种衍射光是造成Moire光电信号对比度不好和正弦性差的根本原因。本文分析了衍射光栅副±1级Moire条纹的位相关系与光栅副间隙等因素的关系,提出了利用±1级Moire条纹来获得高质量Moire条纹信号,实际应用,效果良好。 The diffraction effect is very obvious in the grating system with fine pitch. The energy is about 10% ~ 40% of the total energy. This kind of diffracted light is the fundamental reason of the poor contrast and the bad sinusoid of Moire photoelectric signal. In this paper, the relationship between the phase relationship of Moire fringes of ± 1 order Moire fringes and the grating sub-gaps was analyzed. The moire fringes of ± 1 order were used to obtain high quality Moire fringe signals. The practical application and good results were obtained.
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